晶片传输系统中切边探测和预对准技术

摘要：

介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术.

关键词：投影光刻、晶片传输、切边、探测、机械预对准、光学预对准

所属期刊栏目：32

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：43-47