先进制造技术之--IC＆MEMS制造技术及其发展趋势(续前)

摘要：

@@ 4 IC制造技术的未来趋势
4.1工艺技术的发展趋势
表1给出了1999-2010年半导体制造技术发展的主要特征参数,这一快速发展的技术数据符合Moore定律.经过30年验证的Moore定律是正确预言半导体制造技术发展的基本依据.集成电路是半导体器件的代表性产品,其发展也遵循这一规律.

机标关键词：先进制造技术、技术的发展趋势、Manufacturing Technology、半导体器件、技术发展、未来趋势、特征参数、技术数据、集成电路、基本依据、定律、验证、规律、工艺、产品

所属期刊栏目：32

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-16,56