离子微调机的研究

摘要：

从理论上研究了离子微调机研制的核心技术,给出了离子透镜的焦距公式及合理设计和使用透镜参数的一些因素.

关键词：离子束、离子透镜、微调机

所属期刊栏目：31

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：236-237,254