摩尔定律与半导体设备

摘要：

介绍了摩尔定律及其寿命和争议.同时介绍了ITRS2001及其对缩小芯片特征尺寸的争议.讨论了影响摩尔定律寿命的半导体工艺及设备,如光刻工艺及设备、互连工艺及设备和纳米半导体工艺及设备.并对发展我国半导体设备提出了建议.

关键词：摩尔定律、光刻设备、互连设备、纳米半导体设备

所属期刊栏目：31

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：196-199