先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势

摘要：

概述了集成电路(IC)生产的基本工艺流程及其关键设备的国际国内水平,展望了IC制造工艺设备的发展趋势;同时介绍了微电子机械系统(MEMS)的用途、发展方向及先进的IC制造技术在MEMS生产中应用前景.

关键词：IC、工艺技术、制造设备、MEMS、现状与前景

所属期刊栏目：31

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：187-195