离子注入机靶室尘埃污染与系统改造

摘要：

讨论了离子注入机尘埃污染的原因,给出了用冷凝泵系统取代扩散泵系统的改造实践,并提出了预防维修措施以全面减少尘埃污染.

关键词：离子注入机、尘埃、污染

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：103-105