10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.003
液晶显示器技术及其曝光设备
介绍了LCD器件市场及发展现状、器件类型和生产线概况.根据LCD器件对曝光设备的工艺特点,重点介绍了几种用于LCD制造的曝光设备,结合LCD器件目前的发展趋势,讨论了曝光设备面临的新课题.
LCD器件、LCD市场、LCD生产线、发展趋势、曝光设备
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TN141.9(真空电子技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
73-78
10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.003
LCD器件、LCD市场、LCD生产线、发展趋势、曝光设备
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TN141.9(真空电子技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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