厚膜集成电路丝网印刷工艺技术

摘要：

重点介绍了厚膜集成电路的丝网印刷工艺技术和影响印刷质量的因素,并以厚膜电阻器为例,简述其制作工艺过程,以及丝网印刷缺陷对厚膜电路的影响.

关键词：厚膜集成电路、厚膜丝印、厚膜电阻器、丝印缺陷

所属期刊栏目：31

分类号：TN44(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-50