BG-105型分步投影光刻机调平控制系统分析与软件处理

摘要：

概述了调平控制系统在BG-105型分步投影光刻机中的重要性和BG-105型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理.重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法.实测表明,该软件控制系统运行情况良好,具有很强的实用性.

关键词：调平控制系统、位置检测器、计算方法、软件编程

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：32-37