外圆切割拱形槽平面靶材的可行性工艺分析

摘要：

针对该平面靶材中拱形槽的特殊结构及对其特殊的切割加工要求,采用信息产业部电子第四十五研究所研制开发的WQ-1A型多刀外圆切割机,作为原料的切割设备,并进行细致、全面的可行性切割探索及工艺分析与论证.

关键词：外圆切割、组刀、平面靶材、拱形槽、可行性

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34,48