PTFE快速定位系统研究

摘要：

介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成,并对气足的设计计算进行了讨论.最后给出了所研究的工件台的检测结果.

关键词：PTFE材料、压力-真空平衡气足、工件台

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16