我国切割设备的现状与展望

摘要：

简述了国内外切割设备的最高水平和发展趋势,比较了国内与国外切割设备的差距及我国切割设备发展中存在的问题,提出了面对WTO发展我国切割设备应采取的措施和对策.

关键词：大直径切割、线锯、半导体材料、可靠性

所属期刊栏目：30

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-13,44