我国半导体设备业走向春天
世界已经进入了以信息产业为特点的新经济时代，世界经济得到了新的增长。以计算机、网络通讯和数字家电为核心的中国信息产业近几年一直以高速度增长，成为我国国民经济增长最快的行业。持续增长的信息产业推动了我国的半导体集成电路产业市场的发展。在世界集成电路出现低谷的时候，我国仍然以20％的速度在增长，2000年又达到了生产50亿块的新高峰，全国集成电路生产企业少有的满负荷运行，国外和台湾地区的许多公司纷纷来国内寻求合作与发展。北京、上海正在兴建的集成电路生产线已达7～8条，其他地方如成都、浙江、深圳也在规划φ150mm以上生产线的建设。2000年我国半导体集成电路设备销售额比1999年增长了99.9％。从北京和上海各规划建设10～20条集成电路生产线的情况来看，除引进国外先进设备，国产设备市场也将达到1000亿人民币。纵观我国半导体设备行业成长的历程，可以看到目前我国半导体设备行业已经进入新的发展时期。“八五”以后，生产半导体设备的企业数目逐渐减少，但骨干单位已经基本稳定，实力得到较大加强。目前各主要单位均已配备了较好的CAD、数控板金加工、数控精机加工手段和不同程度的净化条件。同时，他们在科研上也取得了一系列可喜的成果。通过“八五”、“九五”计划，在国家有关部门的支持下，集成电路生产设备不仅得到了发展，而且上了一个新的台阶，完成了一批有较高水平的设备，开发并完成了φ150mm、0.5μm关键工艺设备，其中电子束和离子注入机已取得了良好的效果。以CLUSTEER新平台研发的IMDCVD、MRIE、DSW和PVD设备已经相继完成并投入使用。光刻设备正在实现跳跃式发展，在研制DSW的基础上对X射线曝光机进行了研发，已经成功地做出了器件，为进一步推出实用化设备奠定了基础。有利的国外、国内环境促使我国的半导体设备生产企业纷纷进行自我改造，以科学技术为第一生产力，提高自身的科研水平和生产能力。同时，政府也大力支持研发基地的技术改造，支持改革后的设备公司上市、融资。北京建中机器厂就是其中的一员。目前北京建中机器厂正承担着北京“二四八工程”中北方微电子设备基地的建设任务，正在与拥有资金、技术、市场、管理的各方合作，按照现代企业制度的运做方式，在未来的发展中共同受益，建设我国第一流的微电子设备基地。(中国电子专用设备工业协会)
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TP2;TN7
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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