ASML公司推出0.12μm分辨率的248 nm KrF光刻设备

摘要：

最近，ASML公司推出了其最新开发的PAS 5500/800型远紫外步进扫描系统，该机具有0.12μm分辨能力，其数值孔径达0.80，是至今世界上最大数值孔径的远紫外步进扫描光刻设备，可生产φ200mm圆片115片/h。新设备采用了瑞士Carl Zeiss公司提供的新型Starlith800型透镜。PAS 5500/800系统的第一台生产机器安排在今年6月发货。

机标关键词：分辨率、大数值孔径、步进扫描、远紫外、扫描系统、生产、设备采用、光刻设备、分辨能力、圆片、透镜、瑞士、开发、机器、机具、发货

所属期刊栏目：30

分类号：TN3;TN9

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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