10.3969/j.issn.1004-4507.2001.01.010
迎接纳米时代的到来
概述纳米技术的发展,展现纳米技术的前景,并揭示纳米技术给半导体设备产业带来新的机遇。
纳米技术、前景、半导体设备产业、机遇
30
TN409;TN30(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
59-61
10.3969/j.issn.1004-4507.2001.01.010
纳米技术、前景、半导体设备产业、机遇
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TN409;TN30(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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