几种双面对准原理的分析与比较

摘要：

根据国内外双面对准曝光机中双面对准曝光技术及工艺的发展,系统地对目前国内外典型的几种双面对准原理进行了比较与分析.

关键词：双面曝光机、双面对准、原理、比较、分析

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38