0.8～1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制

摘要：

传输片、预对准、调平及预调焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分,其精度和运行可靠性对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产生重大影响.介绍了0.8～1μm分步重复投影光刻机传输片、预对准、调平及预调焦控制系统的组成及控制软件;分析了预对准、机械手上片、调平及预调焦的精度和运行可靠性,并给出了研制结果.

关键词：传输片、预对准、调平、预调焦、机械手

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34