UV-LIGA光刻设备研究

摘要：

近几年来微型机电系统(MEMS)的研究得到了高速的发展,而MEMS的工艺基础是微细加工技术.针对电铸(LIGA)技术所存在的缺点提出了紫外光电铸(UV-LIGA)技术,并研制了用于UV-LIGA技术的光刻设备.其中介绍了整机的设计要点、所解决的关键单元技术和实验结果.

关键词：LIGA技术、UV-LIGA技术、光刻设备

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29