新一代微分析及微加工手段--聚焦离子束系统

摘要：

聚焦离子束(FIB)技术是90年代发展起来的具有微细加工和微分析组合功能的新技术.随着集成电路线宽的不断减小,集成度不断提高,该技术已在微电子工业中被广泛应用,其优势也日益显现.文中主要对FIB系统的构成作较为详尽的介绍,同时也涉及该技术的应用和发展.

关键词：微分析、微加工、聚焦离子束

所属期刊栏目：29

分类号：TN307;TN405.98(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：19-25