监控对准采用的补偿对准测量法

摘要：

补偿对准测量方法(CALM)是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术.CALM技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前,通过准确偏移光栅1/2间距再次曝光,然后完全除去已曝光部分的原理建立的.采用这一原理已制作了直观显示可校正因素的试验片.CALM读数与盒中盒(BB)测量比较的测算3σ值精度为0.03μm.CALM读数与BB测量之间的线性度保持在±0.13μm误对准范围.采用此技术允许更频繁地进行基线校正.

关键词：视觉测量法、对准、基线校正

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：36-43,52