半导体设备维修工程实务(续)

摘要：

@@ 6 柏拉图运用
在半导体设备的维修管理过程中,需要工程师经常会诊,找出设备故障的主要因素,以便在调查研究的基础上不断改进维修计划来适应设备的实际情况,达到PDCA循环的维修管理目标.柏拉图就是一种行之有效的数据整理方法[6].在半导体设备维修工程中常用到的柏拉图有2种:即故障柏拉图与备件柏拉图.

机标关键词：半导体设备、柏拉图、维修计划、整理方法、维修工程、管理目标、管理过程、故障、调查研究、工程师、运用、循环、数据、基础、会诊、备件

所属期刊栏目：29

分类号：TV1;R-0

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35