采用方形照明提高分辨率和焦深

摘要：

随着光学光刻技术向更小特征尺寸加工推进,必然要重视提高分辨率的方法.通过强、弱离轴方法的照明变形技术正引起极大的关注.特别是研究x、y定向的特征尺寸,照明分布形状可不一定是圆形的.介绍了采用直角特性的照明形状可提高成像质量.讨论了方形照明的用途,并确定了它与光学邻近校正(OPC)、像差及其它成像因素的关系.

机标关键词：方形、照明、高分辨率、特征尺寸、光学邻近校正、光学光刻技术、形状、方法、成像质量、成像因素、变形技术、角特性、圆形、用途、加工、分布、定向

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：48-56