半导体设备维修工程实务

摘要：

根据半导体设备维修实践,论述了半导体设备维修工程的作用、方式、分类及管理要务;阐明了其故障分析方法与柏拉图应用;提出了设备维修经济效益的常用定性分析及实效测评.

关键词：半导体设备、故障、维修、预防维修

所属期刊栏目：29

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：20-27