0.5μm分步光刻机关键参数测量与分析

摘要：

主要对0.5μm分步光刻机的几个代表性参数即:投影镜头分辨率、照明均匀性、套刻精度、工作台步进精度、镜头畸变等引起误差的原因,测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结,在解释问题的同时,也提出了相应的解决办法,为下一代光刻机的研制打下一定的基础.

关键词：0.5μm分步光刻机、参数测量、分辨率、照明均匀性、套刻精度、步进精度

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14