用于氮化铝陶瓷高温烧结设备的设计与验证

摘要：

针对以"新基建"为代表的通信领域对高功率、高性能微波组件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性.基于此,开发了高温烧结设备,进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了烧结温度及时间、升降温速率、气体流量及炉体压强等因素对高温烧结产品性能的影响.

关键词：高温烧结炉、氮化铝陶瓷、高温烧结工艺

所属期刊栏目：45

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2024-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：61-63