Parylene F在V频段MMIC防护上的应用

摘要：

为了验证Parylene F材料在V频段MMIC防护上的应用,设计了薄膜滤波器、铝基和铜基的可调放大器模块.采用真空气相沉积工艺在滤波器、放大器模块上制作Parylene F膜层.测试结果表明:5 μm的膜层使滤波器中心频率向左偏移300～350 MHz,其插损、矩形系数几乎没有变化;5 μm膜层使可调放大器模块增益峰值下降约0.1%～0.2%,正常态、衰减态下的增益均出现了漂移现象,但处理前后的增益曲线趋势基本一致;模块的噪声系数峰值增加了1.12～1.78 dB,正常态与衰减态下的噪声系数曲线均出现了漂移,但处理前后的噪声系数曲线趋势基本一致,且铜基腔体的噪声系数恶化较铝基腔体弱.分析结果表明,通过滤波器、可调放大器的补偿设计,可以实现Parylene F在V频段MMIC防护上的应用.

关键词：Parylene F、防护、滤波器、可调放大器

所属期刊栏目：45

分类号：TN605(电子元件、组件)

资助基金：四川省重要技术标准研究项目ZYBZ2021-21

在线出版日期：2024-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21