陶瓷片上石蜡的清洗工艺

摘要：

从陶瓷片表面黏附石蜡的清洗应用出发,制定了多种清洗试验方案,采用能谱仪检测清洗后碳元素的分布,并通过环氧胶将陶瓷片与镀金可伐片粘接,对多组样品开展剪切试验并分析强度数据,从而比较清洗效果.采用M617清洗后,根据强度均值与清洗时间的二次回归曲线,得到理论上的强度最大值,与实测数据比较误差较小.

关键词：石蜡、环氧胶粘剂、剪切强度、清洗溶剂

所属期刊栏目：43

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：装备预先研究重点基金61404130404

在线出版日期：2022-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：324-326,337