国产LTCC微流道集成T/R组件的设计与实现

摘要：

为快速推进低温共烧陶瓷(LTCC)材料的国产化进程,推动自研LTCC材料早日投入应用,以某型国产LTCC材料为基础设计了一款单通道T/R组件,组件内部埋置集成微流道用于功放芯片快速散热.在组件及微流道设计仿真、基板制造加工和膜层化镀改性方面进行了研究,对组件进行了装配和测试.结果显示,采用自研LTCC材料制作的单通道T/R组件工艺指标合格,装配适应性良好,微流道散热高效,主要电性能指标满足要求.该型国产LTCC材料实用性良好,具有明确的工程应用前景.

关键词：低温共烧陶瓷、国产化、微流道、T/R组件

所属期刊栏目：43

分类号：TN60(电子元件、组件)

在线出版日期：2022-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：131-134