厚膜陶瓷基片通孔填充工艺

摘要：

随着厚膜电路技术的发展,混合集成电路的集成度越来越高,要求提高混合集成电路陶瓷基片布线密度,而陶瓷基片双面布线是提高集成密度的较好方式之一.双面布线需要在厚膜陶瓷基片上制作通孔,并对通孔进行导体填充,以实现陶瓷基片正反两面电性能导通和散热等功能,而制作性能良好的导体孔柱是厚膜工艺的难点.重点介绍了通过优化填孔设备压力参数和掩膜孔径的工艺参数提高双面布线厚膜陶瓷基片通孔填充质量的工艺研究,实现提高厚膜陶瓷基片通孔填充效率和质量的目标.

关键词：厚膜;陶瓷基片;通孔填充;双面互连

所属期刊栏目：43

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2022-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：77-80