高密度金丝键合中的劈刀系列化实验

摘要：

针对高密度细间距金丝键合中劈刀选型困难的问题,筛选出11种劈刀作为试验对象,研究它们在不同材质上的匹配性与键合能力,以及在高密度细间距、深腔/近壁特殊应用状态下的工艺特性.通过焊点形态、拉力测试及显微镜拍照对比方式,得出劈刀可靠性变化曲线以及使用寿命.最后通过归纳分析,梳理出11种劈刀适用范围,供实际生产选型.

关键词：高密度金丝键合、劈刀选型、键合能力、细间距、深腔

所属期刊栏目：41

分类号：TN454(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2020-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：283-287