酸性蚀刻废液中回收高纯氧化铜

摘要：

研究了酸性蚀刻废液回收高纯电镀级氧化铜粉的方法,通过XRD和XPS等测试分析发现,有机物是影响光亮剂消耗和EVF电镀填孔凹陷大的原因,并对有机物进行了有效去除.最终回收所得氧化铜粉的质量分数高达99.0％,杂质含量低,活性高,完全符合电镀级氧化铜粉的要求.

关键词：酸性蚀刻液、回收、氧化铜、光亮剂

所属期刊栏目：39

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2019-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：346-348,351