光波导平整度优化工艺

摘要：

为推进光传输器件的实用化,提升聚合物光波导传输特性,梳理了聚合物光波导的工艺流程.分析了影响光波导传输特性的平整度问题,通过基板覆铜及研磨抛光、基板附着力增强、光波导旋涂控制和光波导曝光控制等关键技术的突破,解决了基板平整度、胶层附着力和光波导光刻控制等问题,获得了表面和侧壁粗糙度均低的聚合物光波导.通过测试,结果能满足使用要求,具有良好的应用前景.

关键词：光波导、平整度、附着力、光刻

所属期刊栏目：39

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国防科工局预研基金项目HX165240001

在线出版日期：2019-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：322-324,335