高能离子注入机离子能量计算方法研究

摘要：

主流高能离子注入机基于RF加速结构实现高能离子加速,其离子能量的计算较为复杂.描述了一种基于RF加速结构的高能离子注入机中离子能量的计算方法.该方法基于RF加速原理,使用加速结构的静电场计算数据近似瞬时加速电场,通过简单数值方法实现离子能量快速计算.计算结果与实验结果和设备标称参数的对比显示,该方法计算精度能够满足指导设备调试的要求.

关键词：离子注入机、离子能量、射频

所属期刊栏目：39

分类号：TN60(电子元件、组件)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：160-162