01005型MLCC关键制备工艺研究

摘要：

为了提高01005型多层陶瓷电容器(MLCC)的切割合格率,对丝印、叠层等关键制备工艺进行了研究.通过试验发现:要获得良好的超小尺寸内电极印刷质量,有必要采用高目数的丝网,还可以适当地缩减电极图案区域以减少电极图案变形.采用具有辅助图案的丝网在介质膜片上印刷内电极,叠层后内电极对位可以满足精度要求.层压需要选择合适的压力和升压速率,防止膜坯巴块发生内部滑移和变形.上述关键工艺的优化为提高01005型MLCC的切割合格率提供了良好的前提条件.

关键词：01005、多层陶瓷电容器、工艺、丝印、内电极、叠层、切割

所属期刊栏目：39

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家国际科技合作项目2010DFB33920

在线出版日期：2018-02-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：46-48,57