LDMOS功率器件可靠性筛选技术研究

摘要：

为了获得良好的筛选效果,剔除早期失效产品,通过对LDMOS功率器件的失效情况进行调研分析,设计了LDMOS功率器件的筛选方案.主要研究了LDMOS功率器件失效模式和失效机理之间的对应关系、失效机理与试验项目之间的关系.选取可覆盖全部失效模式的试验项目,并根据各试验项目的特性和作用对其进行排序,形成合理有效的LDMOS功率器件可靠性筛选方案.选用100只某型号LDMOS功率器件按照此方案进行筛选,并对失效产品进行失效分析,验证了方案的有效性.

关键词：LDMOS、失效模式、失效机理、可靠性

所属期刊栏目：38

分类号：TN386(半导体技术)

资助基金：河北省自然科学基金项目F2013202256

在线出版日期：2017-08-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：208-211