自动金丝键合参数的影响及其优化

摘要：

通过控制单一变量的试验方法,研究了金丝变形度、超声功率、超声时间和键合压力等参数对自动键合一致性和可靠性的影响,分析了每个参数对自动键合的影响规律,给出了自动键合参数的参考范围.通过正交试验方法,优化了键合参数组合,并进行试验验证.给出了不同基材自动键合的参数参考范围,对自动键合工艺具有一定的指导意义.

关键词：金丝键合、金丝变形、超声功率、键合压力、正交试验

所属期刊栏目：38

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：102-106