生瓷带打孔机在线检测技术研究

摘要：

随着生瓷带打孔机冲孔速度快速提升和打孔数量急剧增加，不可避免地会引起打孔质量缺陷问题，离线检测会导致生瓷带精度变差、效率低和可靠性不高等问题。介绍了如何在生瓷带打孔机上实现在线检测功能，对比了面阵和线阵两种扫描方案。通过分析影响在线检测的主要因素，从图像失真处理、图像与机器坐标转换和线扫描控制技术等方面进行研究。通过工艺验证，提高了生瓷带上打孔质量的可靠性和检测效率，减小了孔位置精度变化。

关键词：LTCC、生瓷带、打孔机、在线检测

所属期刊栏目：37

分类号：TN31(半导体技术)

在线出版日期：2016-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：117-120