杜洛埃有机介质上集成薄膜电阻工艺研究

摘要：

杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路，由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面，并采用薄膜电路制造工艺，实现了在无铜箔的杜洛埃介质上制作微波混合集成电路。已成功实现了功分器、微波天线等产品的制作。对集成薄膜电阻的性能进行了详细工艺分析和讨论。

关键词：杜洛埃材料、薄膜、集成电阻

分类号：TN44(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：94-96,101