LTCC模块表面线条的精细化加工

摘要：

LTCC作为一种优异的加工方式，是实现小型化、高频化的有力手段。结合LTCC模块小型化，特别是表面线条精细化的要求，综述了LTCC模块表面线条精细加工的四种方法：表面薄膜加工技术、厚膜光刻加工技术、精密丝网印刷技术、Inkjet浆料直写技术。总结了各种方法的适用范围、发展概况和趋势。

关键词：LTCC模块、表面线条、精细加工

分类号：TN45(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：234-236,248