大尺寸多晶硅铸锭的工艺研究

摘要：

　　对多晶硅锭生产过程中装料工艺和铸锭工艺进行研究，在不增加投入和不降低生产效率的基础上，通过对硅料配比和排布方式进行调整，实现877 mm×877 mm×420 mm坩埚中480 kg合格硅锭的生产，使装料量增加20 kg/锭；并通过对铸锭工艺关键点的有效控制，将硅锭有效利用率提高至70%，实现降低生产成本，提高设备产能的目的。

关键词：大尺寸硅锭、定向凝固、装料工艺、铸锭工艺

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家863科研攻关项目项目编号2006AA05Z407。

在线出版日期：2013-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：246-249