多晶硅铸锭炉中准单晶硅锭的生长

摘要：

介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶生长技术逐渐被人们所重视.通过分析单晶硅晶体生长和多晶硅晶体生长的特点,在自主研发的多晶硅铸锭的基础上,介绍了如何通过设备改进和工艺改进,生长出晶体结构优于多晶硅的准单晶.准单晶制作的电池片光伏转换效率显著高于多晶硅.

关键词：单晶硅、多晶硅、准单晶、多晶硅铸锭炉、铸锭工艺

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2013-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：118-121