等离子喷涂制备Al2O3块体材料的介电性能

摘要：

将两种纯度较高的Al2O3粉末采用等离子喷涂工艺制备成块体,其孔隙率分别达到11.2%和11.6%.用等离子喷涂工艺制备的Al2O3块体在7 GHz~18 GHz下的介电常数εr分别是7.2和7.1,介电损耗tanδ分别是3.5×10-3和1.0×10-3.用这种工艺制备的Al2O3块体的介电常数比常规压制烧结工艺制备的低,但是介电损耗大,这主要与等离子喷涂工艺所制备样品的孔隙率和微结构等有关.

关键词：等离子喷涂、孔隙率、介电常数、介电损耗

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2013-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：114-117