在线低压等离子清洗研究

摘要：

介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了榆测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法.通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%.

关键词：低压等离子、接触角、等离子清洗、表面自由能、粘附功

所属期刊栏目：32

分类号：TN6(电子元件、组件)

资助基金：国家重大专项基金项目2009ZX02010-038

在线出版日期：2011-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-15,27