视觉系统在硅片检测上的应用

摘要：

机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断.介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节.大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率.

关键词：硅片、检测、视觉系统

所属期刊栏目：31

分类号：TN873(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2010-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：303-305