真空设备泄漏检测技术

摘要：

针对真空设备研制过程中和客户实际使用过程中真空设备出现漏气现象比较普遍,无法高效快速排除真空漏气的主要问题,结合工作实践经验,采用特种气体检测法、气泡检漏法和真空计检漏法三种技术,相互交叉结合使用,在最短时间内检出设备漏点,处理设备漏气问题,及时防护设备,节约生产维护时间.该技术具有直接性、快速性和便捷性,易学易懂.

关键词：真空检漏仪、真空计、漏气、密封、真空室、挥发性气体

所属期刊栏目：30

分类号：TB77(真空技术)

资助基金：国家863科研攻关项目2006AA052407

在线出版日期：2009-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：226-229