我国电子信息重大装备技术进步思考

摘要：

在振兴我国装备制造业大背景下,从大规模集成电路、平板显示器关键工艺装备等方面出发,对我国电子信息重大工艺装备研究技术现状、发展需求和制约行业技术发展的原因进行了概括分析,对我国在这一领域实现技术跨越、赶超世界先进水平所面临的困难进行了思考.

关键词：信息装备、IC、LCD

所属期刊栏目：30

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2009-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-11,36