基于Linux的半导体生产设备通用平台的实现

摘要：

上芯机、贴片机等是半导体制造行业中非常重要的生产设备,分析了上芯机、贴片机等半导体生产设备的系统控制平台,并且对各个系统的结构进行了比较,在抽取出它们的共同特征的基础上,提出了基于Linux操作系统的实时多任务系统通用平台的构建及其实现方法.

关键词：半导体生产设备、控制平台、Linux操作系统、多线程

所属期刊栏目：27

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：广东省粤港关键领域突破项目20041A01;TC05B372-1;广东省科技厅资助项目2004A10403001;广东省科技成果重点推广计划cgzhzd0403;cgzhzd0402

在线出版日期：2006-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：352-354,363