波长计中运动导轨的稳速控制方法及实现

摘要：

波长计要求导轨运行平稳,直线性好.导轨采用音圈电机拖动.音圈电机结构简单、维护方便、响应速度快.依据等效力学模型和等效电路模型,得到音圈电机位移-电压传递函数.采用PID调节器,实现音圈电机的稳速控制,满足波长计的运动要求.

关键词：迈克尔逊干涉、音圈电机、传递函数、PID、稳速

所属期刊栏目：26

分类号：TM57(电器)

资助基金：国家自然科学基金60490280

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：225-227,231