生产装配过程中的静电防护

摘要：

随着集成度不断提高,集成电路的内绝缘层愈来愈薄,其互连线与间距愈来愈小,相互击穿电压愈来愈低,静电防护的重要性更加突出.简述了电子产品集成过程中静电防护的实践,在工程中解决了静电接地、静电防护等技术问题.

关键词：静电、接地、静电控制、静电评价

所属期刊栏目：26

分类号：TN08(一般性问题)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：85-87,91