第五代TFT-LCD制屏工艺的最新进展

摘要：

主要综述了第五代TFT-LCD制屏的最新工艺流程和技术进展,并通过图表将整个工艺流程划分为10个工序进行了概要说明.

关键词：液晶预滴(ODF)、阶梯爬坡传送清洗法

所属期刊栏目：26

分类号：TN105(真空电子技术)

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54